- 最大2インチウエハ対応 クローズドサイクル冷凍機
2インチサイズのウエハがそのまま取付、冷却可能
(高倍率対物レンズでの測定はできません。) - 超低振動クローズドサイクルクライオスタット
超低振動を実現 ±0.5μ
最低到達温度 6K以下
(試料部内臓センサーにて輻射シールド開口φ30mm×1)
クールダウン時間 約2時間(約室温〜到達温度(10K近辺)) - 低振動クローズドサイクルクライオスタット
到達温度 10K以下(試料ホルダー部)
冷凍機とアイソレートされた試料部の採用で、±5μ以下の低振動 - 低振動パルス式クライオスタット
パルス管方式で、±2μ以下の低振動(冷却ステージ部)
最低到達温度 3K以下(冷凍機単体、無負荷時) - 市販のほとんど全てのフロータイプ顕微鏡用クライオスタットが取付可能。




