顕微フォトルミネッセンス(ホトルミネッセンス)測定装置

LabRAM-HR PL

マッピング速度を飛躍的に向上させた高速マッピング機能を開発しました。従来からの優れた光学性能を維持し、短時間でウエハ全体の情報が得られます。
さらに、高倍率の対物レンズを使用することで微小領域を高空間分解能でマッピングすることも可能です。

●ピーク波長マッピング
●半値幅マッピング
●ピーク強度マッピング
●積分強度マッピング
●任意の波長での強度マッピング
●フィッティングによるピーク分離

従来からの高い波数分解能と優れた波長精度を維持した高速マッピング測定が可能になりました。

※どちらも、CCD検出器を使用して、すべての点でスペクトルを測定
　XYステージ駆動方式、積算時間は1ミリ秒

3インチMQWウエハ

ピーク波長マッピング(従来法との比較)


ステップスキャン測定測定時間1時間10分	高速モード測定 7分10秒

半地幅マッピング(従来法との比較)


ステップスキャン測定ステップ 0.5mm 測定時間1時間10分	高速モード測定ステップ 0.5mm 測定時間7分10秒

3インチ InGaPウエハ
101×101測定ポイント、積算時間1ミリ秒、測定時間4分9秒

ピーク強度マッピング

積分強度マッピング

任意の波長での強度マッピング

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