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フォトルミネッセンス測定装置
>> 顕微フォトルミネッセンス(ホトルミネッセンス)測定装置 / LabRAM-HR PL
概要
マッピング機能
シングルチャンネル検出器
オートレンジ機能
シングルチャンネル検出器(NIR)
PL強度を利用した
オートフォーカス機能
2つのアレイ検出器
ソフトウェアの機能拡張
豊富な低温測定オプション
顕微フォトルミネッセンス(ホトルミネッセンス)測定装置
LabRAM-HR PL
化合物半導体の評価に最適。
基礎研究からマッピングルーチン測定まで、幅広いニーズにお応えします。
非破壊、非接触による、化合物半導体(ワイドギャップ半導体からナローギャップ半導体まで)の組成評価、欠陥評価、量子井戸の評価、不純物評価、結晶性評価が行えます。
ツエルニターナ型分光器(焦点距離800mm)により、高精度測定が可能
複数のレーザを搭載可能(DUV〜NIR)
2つの検出器(アレイ型、シングルチャンネル型)が搭載可能で、UVからNIRまで、広い測定レンジ(200nm〜1600nm以上)を高感度で測定可能
2種類の回折格子を標準で搭載
最大300mm大型XYステージでのマッピング測定が可能
また、高倍率対物レンズで、微小部分のマッピング評価も可能
PL信号でのオートフォーカス機能
豊富な低温測定オプション
フィルターの交換で、同一測定点での、フォトルミネッセンス、ラマン測定が可能
¥13,000,000〜¥68,000,000
詳細はお問い合わせください。
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