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製品情報 製品名から探すフォトルミネッセンス(ホトルミネッセンス)測定装置
LabRAM-HR PL
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  概要
カタログ

顕微フォトルミネッセンス(ホトルミネッセンス)測定装置

LabRAM-HR PL

化合物半導体の評価に最適。
基礎研究からマッピングルーチン測定まで、幅広いニーズにお応えします。

概要
非破壊、非接触による、化合物半導体(ワイドギャップ半導体からナローギャップ半導体まで)の組成評価、欠陥評価、量子井戸の評価、不純物評価、結晶性評価が行えます。
特長
  • ツエルニターナ型分光器(焦点距離800mm)により、高精度測定が可能
  • 複数のレーザを搭載可能(DUV〜NIR)
  • 2つの検出器(アレイ型、シングルチャンネル型)が搭載可能で、UVからNIRまで、広い測定レンジ(200nm〜1600nm以上)を高感度で測定可能
  • 2種類の回折格子を標準で搭載
  • 最大300mm大型XYステージでのマッピング測定が可能
    また、高倍率対物レンズで、微小部分のマッピング評価も可能
  • PL信号でのオートフォーカス機能
  • 豊富な低温測定オプション
  • フィルターの交換で、同一測定点での、フォトルミネッセンス、ラマン測定が可能
値段
¥13,000,000〜¥68,000,000
詳細はお問い合わせください。

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