顕微フォトルミネッセンス(ホトルミネッセンス)測定装置

実際のPL信号で、Z軸を駆動し、ある波長のピーク強度最大となるフォーカス位置でのPL測定が可能。また、その位置から、任意にフォーカスを移動させた位置での測定も行えます。

ピエゾを使用した、オートフォーカス機構もオプションで搭載可能です。

 4 inch InGaP ウエハ測定例

　Z軸を移動させたプロファイル

　AF機能設定画面