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フォトルミネッセンス(ホトルミネッセンス)測定装置ラインナップ

化合物半導体の評価に最適。
基礎研究からマッピングルーチン測定まで、幅広いニーズにお応えします。

非破壊、非接触による、化合物半導体の組成評価、欠陥評価、量子井戸の評価、不純物評価、結晶性評価が行えます。

化合物半導体エピ層の組成分析
発光材料の欠陥
界面の評価
光集積回路の非破壊評価



顕微フォトルミネッセンス測定装置 LabRAM-HR PL		シリコン定量分析用 PHOTOLUMINOR-D		高性能分光分析用 PHOTOLUMINOR-S

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