Symphony IGAアレイ検出器

SymphonyIGA検出器は、0.8μm〜1.7μmの波長をカバーする高い量子効率を持ったInGaAsアレイ検出器です。NIR領域の微弱光の検出に威力を発揮します。液体窒素冷却タイプと電子冷却の2つの冷却タイプ、512ピクセルと1024ピクセルと、アプリケーションにあわせて、最適な検出器の選択が可能です。

• 分光アプリケーションに特化した設計。
• 低ノイズで、最高のNIR感度
• 2つのゲイン(High SensitivityとHigh Dynamic Range)の選択が可能で、アプリケーションに適した選択が可能
• 高速TCP/IPインターフェースを搭載
• 入出力トリガは、ユーザプログラマブル
• オプションで、長波長側の感度が伸びたExtendedタイプも用意されております。

 常温での量子効率

 IGAチップデータシート

 3インチInGaAsウエハの波長マッピング
Symphony IGAアレイ検出器を使用して、InGaAsウエハのマッピング測定を行いました。 シングルチャンネル検出器では、ある特定の波長での強度マッピングの情報しか得られませんが、 アレイ検出器の場合、各測定点でスペクトル情報が得られるため、ピーク波長、半地幅、ピーク位置での強度のマッピング 情報が得られます。もちろん、ある波長での信号強度のマッピングも得ることが出来ます。 FHR640+SymphonyIGAで測定

 シリコン中の不純物の定量分析
シリコン中の不純物(P、B、Al、As)濃度の定量分析が高速で行えます。 通常、Ge検出器か、PMT検出器を使用し、分光器をスキャンして、近赤外領域を高分解能測定しなければ得られなった スペクトルが、SymphonyUGAアレイ検出器を使用することにより、数秒から数十秒でSNの良いスペクトルが得られます。 不純物の定量分析を行う場合、波長領域の異なる2つのスペクトルが必要ですが、FHR1000との組み合わせで、 高速測定が可能になりました。
FHR1000+SymphonyIGAで測定