HORIBA JOBIN YVON

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VS70
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アプリケーションノート

小型スペクトログラフ CP/VSシリーズ

少ない光学部品数で高いスループット

概要
HORIBA JOBIN YVONのスペクトログラフは焦点距離が短いため、明るさが必要なアプリケーションで最適な選択になります。CPシリーズ スペクトロメータ、アレイ検出器の組み合わせは、一回のスキャンで広範囲のスペクトルを測定できます。アプリケーションには、プラズマ分析、プロセス分析、カソードルミネッセンスなどがあります。またMicroHRは、Hシリーズ、CPシリーズの柔軟性を持ち合わせたスペクトログラフです。フォトマル測定、CCD測定をはじめ、様々な用途にご使用いただけます。
分光分析ユニットCP20
世界最小最軽量の分光ユニット、
きわめて汎用性の高いベストセラーです。

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  • 測定波長範囲:380-760nm
  • 波長分解性能:5nm以下(50μmスリット装着時)
  • 収差補正凹面グレーティングを搭載した高剛性で安正な光学モジュール
  • USBまたはRS232Cによる高速データ転送
  • SMA905コネクタ光ファイバによる入力
  • サイズ:4.5cm
  • 質量:150g
分光分析ユニットVS70
半導体用エッチングマシンのエンドポイントモニタ用に、分析装置用に、OEM用に手軽に簡単に高分解能の測定を必要とするアプリケーションに最適です。
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  • 測定波長範囲:200-900nm
  • 波長分解能:2nm以下(50μmスリット装着時)
  • 収差補正凹面グレーティングを搭載した高剛性で安定な光学モジュール
  • USBまたはRS232Cによる高速データ転送
  • SMA905コネクター光ファイバによる入力
  • USBタイプでは分光器の電力はUSBインターフェイスを経由して供給
  • Order sorting filter標準装備
  • 16bitダイナミックレンジ 32bitプロセッサ 30MHz MCU内蔵
CP140:スペクトログラフ

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Symphony CCD検出器装備の
CP140イメージングスペクトログラフ
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CP140スペクトログラフ
  • グレーティング固定のイメージングスペクトログラフ
  • 2次元補正された25mm×8mmのフォーカルプレーン
  • 非常に高いスループット
  • マルチファイバー入力や最大25mmまでのアレイ検出器に最適
  • 以下の機種から選択可能:
     -190nm〜2500nmまでの波長範囲(グレーティングによる)
     -16.7nm/mm〜70.9nm/mmまでの分散
     -1nm〜7nmまでの分解能

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