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分光エリプソメータ（膜厚計）
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分光エリプソメータ UVISEL
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ソフトウェア
分光エリプソメータ UVISEL
業界最先端の分光エリプソメータ用ソフトウェア
Windows
TM
で動作する多機能ソフトウェアDeltaPsi2は、最新のJYエリプソメータがもつすべてのメリットを最大限に引き出します。高度で多彩なモデリング機能によって開発者はあらゆる偏光解析が実施できます。シンプルなユーザインタフェースを採用しているため、ルーチン作業がきわめて簡単に行えます。
主な機能
エリプソメトリックデータ、キネティックデータ、反射データの収集と分析
高度な数学的フィッティング・アルゴリズム
参考文献データベース(拡張可能)
Windows
TM
アプリケーションに容易に移行できるデータおよびグラフ
ファイル操作において高い柔軟性を発揮するインポート／エクスポート・パッケージ機能
可変角度の測定
高度で多彩なモデリング機能
グレーデッド層
周期構造
EMAによるラフネス層・界面層
組成／結晶性
異方性の層
厚さの均一性
消衰係数
分散関係にもとづく豊富な材料特性ライブラリ
厚い透明基板向けの自動裏面補正
裏面反射を考慮に入れたITOグレーデッド層
製造ニーズを満たす自動運転に最適
レシピ生成：データ収集、分析、マッピングのルーチン
フィッティング関数
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