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分光エリプソメータ UVISEL
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概要
原理・手引き
製品ラインナップ
オプション
ソフトウェア
分光エリプソメータ UVISEL
UVISEL
一般用途向け標準スペクトルレンジ
波長範囲 240nm〜830nm
UVISELは240〜830nmの標準的なスペクトルレンジに対応しますが、FUVとNIRのいずれの波長域にも容易に拡張できます(以下の機種説明をご覧ください)。また多彩なオプションを付加することで、性能と適用レンジを拡張できます。
UVISEL NIR
超厚膜測定およびNIR用途向けの高分解能タイプ
波長範囲 260nm〜2100nm
UVISEL NIRは、UVISELのスペクトルレンジを2100nmまでの近赤外域に広げた機種です。データ収集を行う自動式デュアルグレーティングを備えた、きわめて高い分光分解能をもつ2出力の分光器(HR-460)を使用します。この特徴は、膜厚の厚い透明膜を分析するときなどに威力を発揮します。
膜厚が厚くなるほど干渉縞の間隔は狭くなります。膜厚が5μmを越えると、干渉縞を正しく分離するために高い分解能をもつ分光器が必要となります。
分光器の自動制御(回折格子、スリット、検出器の選択)により、全波長域にわたって連続測定を実現します。
UVISEL FUV
紫外域において高い光スループットとすぐれたS/N比を実現
波長範囲 190nm〜830nm
UVISEL FUVは、UVISELのスペクトルレンジを190nmまで拡張した機種です。
ジョバンイボン社内で開発した新設計のM200モノクロメータは、迷光レベルを極限まで低く抑えています。そのため高スループットの光学系と合わせて使用することで、UVISEL FUVは妥協のない極めて高い感度と精度をもっていると評価されています。
UVISEL ER
最も幅広いスペクトルレンジ
波長範囲 190nm〜2100nm
UVISEL ER(Extended Range)は190nm〜2100nmという広範囲なスペクトルレンジに対応します。2種類のモノクロメータ(FUV用のM200とNIR用のHR460)を搭載しています。
UVISEL ERはきわめて高い性能を発揮するとともに、あらゆる応用分野に使用できます。
UVISEL MWL
高速性と高分解能を兼ね備えたベストソリューション
波長範囲 190nm〜830nm
UVISEL MWL(MultiWaveLength)は32個のフォトマル検出器を搭載し、超高速分光測定が行えます。
UVISEL MWLは高速データ収集と高分解能を両立させた高性能分光エリプソメータです。ジョバンイボン社の研究開発部門が開発した先進テクノロジー(特許取得済み)により、要望に応じてn×32(n=2, 最大64)の波長が使用できます。
MWLは、高スループットが必要なケースに最適なソリューションです。またこれはin-situ測定にも適しています。
正確度の高い特性測定を行う分光器との組み合わせも容易にできます。
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