分光エリプソメータ(膜厚計)　UVISEL / HORIBA JOBIN YVON(ホリバ・ジョバンイボン)

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概要

手引き

製品ラインナップ

オプション

ソフトウェア

分光エリプソメータ(薄膜計測、膜厚計)　UVISEL

概要

製品ラインナップ

仕様

ジョバンイボン社製分光エリプソメータ「UVISELシリーズ」は、超薄膜多層サンプルを高感度にて分析を行う事を目的とし開発された薄膜計測装置です。本装置ではフォトエラスティックモジュレーター(光弾性変調器)を採用することにより、反射光の微少な位相変化量Δ、反射振幅比角Ψを高感度にて検知しあらゆるサンプルの膜厚特性測定を行うことを可能とした究極の研究用エリプソメータです。分光エリプソメータ「UVISELシリーズ」はあらゆる材料研究、成膜研究分野において高い測定性能を発揮し、高度な解析ソフトウェア機能と併せ、皆様の研究のサポートを行うことをお約束します。

分光エリプソメータ「UVISELシリーズ」が採用している位相変調方式の特徴として無反応の領域がない事、またFUV(紫外線)からNIR(近赤外線)にかけてすぐれたS/N比を示すことから、きわめて高い精度と正確さを備えております。この方式を採用することによって全領域で高精度のΔ値が得られ、とりわけ透明基板の超薄膜測定において高い正確さを発揮します。
現在、あらゆる種類の研究開発作業に適応するべく、オプションとして可視光領域に加え、紫外領域190nmから近赤外領域1700nmまでの幅広いスペクトルレンジに対応可能です。

ソフトウェアは豊富なアプリケーション・データベースを備え、オプションも多数用意されています。

分光エリプソメータ「UVISELシリーズ」は研究目的のほか、企業の研究開発やプロセス開発にも使用されます。そのすぐれた性能と多彩なオプションにより、材料・表面科学にまつわるあらゆる分野で皆様の研究・開発をサポートいたします。

UVISEL

一般用途向け標準スペクトルレンジ

波長範囲　240nm～830nm

UVISELは240～830nmの標準的なスペクトルレンジに対応しますが、FUVとNIRのいずれの波長域にも容易に拡張できます(以下の機種説明をご覧ください)。また多彩なオプションを付加することで、性能と適用レンジを拡張できます。

UVISEL NIR

超厚膜測定およびNIR用途向けの高分解能タイプ

波長範囲　260nm～2100nm

UVISEL NIRは、UVISELのスペクトルレンジを2100nmまでの近赤外域に広げた機種です。データ収集を行う自動式デュアルグレーティングを備えた、きわめて高い分光分解能をもつ2出力の分光器(HR-460)を使用します。この特徴は、膜厚の厚い透明膜を分析するときなどに威力を発揮します。

膜厚が厚くなるほど干渉縞の間隔は狭くなります。膜厚が5μmを越えると、干渉縞を正しく分離するために高い分解能をもつ分光器が必要となります。

分光器の自動制御(回折格子、スリット、検出器の選択)により、全波長域にわたって連続測定を実現します。

UVISEL FUV

紫外域において高い光スループットとすぐれたS/N比を実現

波長範囲　190nm～830nm

UVISEL FUVは、UVISELのスペクトルレンジを190nmまで拡張した機種です。
ジョバンイボン社内で開発した新設計のM200モノクロメータは、迷光レベルを極限まで低く抑えています。そのため高スループットの光学系と合わせて使用することで、UVISEL FUVは妥協のない極めて高い感度と精度をもっていると評価されています。

UVISEL ER

最も幅広いスペクトルレンジ

波長範囲　190nm～2100nm

UVISEL ER(Extended Range)は190nm～2100nmという広範囲なスペクトルレンジに対応します。2種類のモノクロメータ(FUV用のM200とNIR用のHR460)を搭載しています。

UVISEL ERはきわめて高い性能を発揮するとともに、あらゆる応用分野に使用できます。

UVISEL MWL

高速性と高分解能を兼ね備えたベストソリューション

波長範囲　190nm～830nm

UVISEL MWL(MultiWaveLength)は32個のフォトマル検出器を搭載し、超高速分光測定が行えます。

UVISEL MWLは高速データ収集と高分解能を両立させた高性能分光エリプソメータです。ジョバンイボン社の研究開発部門が開発した先進テクノロジー(特許取得済み)により、要望に応じてn×32(n=2, 最大64)の波長が使用できます。
MWLは、高スループットが必要なケースに最適なソリューションです。またこれはin-situ測定にも適しています。

正確度の高い特性測定を行う分光器との組み合わせも容易にできます。