HORIBA JOBIN YVON

The subject of this page applies in:
Japan
Alternative website:
HORIBA Japan
製品情報 製品名から探す分光エリプソメータ(膜厚計)
分光エリプソメータ UVISEL
製品カテゴリ一覧
分光エリプソメータ(膜厚計)TOP
  概要
  オプション
カタログ
アプリケーションノート
論文
参考文献
アプリケーションから探す
FPD
化合物半導体
歪みSi
アプリケーションノート TOP
有機EL
半導体
ゲートインスレータ
Low-K
SOI (SOI、SiMox)
強誘電体
フォトレジスト
コーティング
ストレージ
バイオ
ポリマー

化合物半導体評価装置サイト

分光エリプソメータ UVISEL
オプション
 ●電動ゴニオメータ
・各ブリュースター角での測定(多入射角測定)のための入射角可変オプション
・透過/反射のエリプソメトリ測定が可能
電動ゴニオメータ

 ●電動XYステージ
薄膜の均一性評価のための面内分布測定用オプション
電動ゴニオメータ

 ●回転(θ)ステージ
<用途>異方性材料の研究
<仕様>θ軸=0度〜360度
回転(θ)ステージ

 ●温度可変用セル
<用途>
サンプル温度を変化させ、化合物材料の
バンド構造やポリマーの熱転移などの分析
<仕様>
温度可変範囲:
(1)室温〜600℃(加熱のみ)
(2)-196℃〜600℃(加熱+冷却)
温度可変用セル

 ●液体測定用セル
<用途>
液体/固体、液体/液体、液体/空気の界面評価
<仕様>
L30mm x W30mm x H13mm、入射角=70度、
材質:ステンレスまたはPEEK
液体測定用セル

 ●電気化学用セル
<用途>
電気化学プロセスの研究
<仕様>
エリプソ測定用入射角=70度、セル内サンプル観察窓、セル体積=43mL、Ag/AgClレファレンス電極、Pt対電極
電気化学用セル

 ●反射率測定モジュール
<用途>
垂直入射での分光反射率測定
<仕様>
測定スポット=200μm、波長範囲=UVISELに依存
既設のUVISELシリーズへの取付も可能
(※ただし、ハードウェアバージョンにより不可の場合あり)
反射率測定モジュール

 ●透過率測定用サンプルホルダ(HORIBA Jobin Yvon社特許)
<用途>
分光透過率測定
<仕様>
波長範囲=UVISELに依存
既設のUVISELシリーズへの取付も可能
(※ただし、ハードウェアバージョンにより不可の場合あり)
透過率測定用サンプルホルダ

On this website

Search