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分光エリプソメータ(膜厚計)
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分光エリプソメータ UVISEL
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概要
原理・手引き
製品ラインナップ
オプション
ソフトウェア
分光エリプソメータ UVISEL
●電動ゴニオメータ
・各ブリュースター角での測定(多入射角測定)のための入射角可変オプション
・透過/反射のエリプソメトリ測定が可能
●電動XYステージ
薄膜の均一性評価のための面内分布測定用オプション
●回転(θ)ステージ
<用途>異方性材料の研究
<仕様>θ軸=0度〜360度
●温度可変用セル
<用途>
サンプル温度を変化させ、化合物材料の
バンド構造やポリマーの熱転移などの分析
<仕様>
温度可変範囲:
(1)室温〜600℃(加熱のみ)
(2)-196℃〜600℃(加熱+冷却)
●液体測定用セル
<用途>
液体/固体、液体/液体、液体/空気の界面評価
<仕様>
L30mm x W30mm x H13mm、入射角=70度、
材質:ステンレスまたはPEEK
●電気化学用セル
<用途>
電気化学プロセスの研究
<仕様>
エリプソ測定用入射角=70度、セル内サンプル観察窓、セル体積=43mL、Ag/AgClレファレンス電極、Pt対電極
●反射率測定モジュール
<用途>
垂直入射での分光反射率測定
<仕様>
測定スポット=200μm、波長範囲=UVISELに依存
既設のUVISELシリーズへの取付も可能
(※ただし、ハードウェアバージョンにより不可の場合あり)
●透過率測定用サンプルホルダ(HORIBA Jobin Yvon社特許)
<用途>
分光透過率測定
<仕様>
波長範囲=UVISELに依存
既設のUVISELシリーズへの取付も可能
(※ただし、ハードウェアバージョンにより不可の場合あり)
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