概要

JOBIN YVON(ジョバンイボン)社のEx-situ分光エリプソメータと堀場製作所の高い技術力が融合した300mmWafer対応のエリプソメータです。薄膜の膜厚や光学定数を同時測定する事が可能な高精度測定器です。
又、全自動化を行うロボット部と専用開発のソフトウェアにより現場のニーズに答える高い操作性と高信頼性を誇っています。多層膜解析や分子層のなどの超薄膜測定などには欠かせない装置として日本国内はもとより海外でも多数の納入実績を誇っています。
UT-300搭載のUVISELシリーズは通常の分光エリプソメータとは異なり、PEM(Photoelastic modulater)を使用した位相変調方式を採用している為、外光の影響をほとんど受けずに高精度で高速な測定を実現しています。

• 機械的振動の無いPEM素子を利用し高速・高精度の測定を実現します。
• 1nmの超薄膜やフラッシュメモリ等に代表される多層膜計測が可能です。
• 多彩なオプションによるカスタムアップが可能です。
• 多波長同時測定ユニットによる高速計測を実現します。
• 複雑な複合多層膜を全自動で解析するソフトウェアを搭載します。
• 工場のラインに合わせたカスタムセットアップが可能です。