エリプソの手引き / HORIBA JOBIN YVON（ホリバ・ジョバンイボン）

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エリプソメトリとは？

・

解析内容

原理

分光エリプソの必要性

	・	薄膜1層の場合 (1)
	・	薄膜1層の場合 (2)
	・	多層膜の場合

特徴と欠点

測定方法

JYエリプソメータ

	・	構成
	・	測定結果
	・	測定データの解析

解析手順

光学定数の設定

	・	参照試料の光学定数
	・	分散式
	・	Classical分散式

平均一・不連続な膜の解析

	・	有効媒質近似(EMA)
	・	解析例

解析困難なサンプル

解析手順

エリプソメータ製品情報

実際の材料構造と同じようにモデルをたてます。モデルは

基板は何か？
各層の膜厚(d)は？
各層の光学定数は？
(n?, k? or )
各層の組成は？

（例）

これらの項目を仮定し、誘電率の波長依存性を示した式（DSP*）を用いてモデルをたてる

DSP* : Dispersion（分散式）

モデルから理論的に求められる

(

) ,

(

)

分光測定データ

(

) ,

(

)

最小二乗法を用いて、 (

(

) ,

(

) )と (

(

) ,

(

)) の違いが最小になるようにとDSPのパラメータをフィッティングするその結果、測定データとモデルが

合わない

合う

さらにモデルの構成物質を追加・変更して解析を行う
（例）

結果を確認する

悪い

良い

d 及び計算されたDSPパラメータから n,k が求まる

エリプソメータ製品情報

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