エリプソの手引き / HORIBA JOBIN YVON（ホリバ・ジョバンイボン）

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	・	有効媒質近似(EMA)
	・	解析例

JYエリプソメータの構成は？

エリプソメータ製品情報

JYエリプソメータで測定したデータは下図のように、横軸にエネルギー、縦軸にPsi, Deltaが表示されます。ここでは参考に下記のような材料のスペクトルをプロットしました。

例）シリコン基板上の自然酸化膜 20

入射角度 : 75度
エネルギー範囲 : 1.5-5.0eV

これら Psi, Delta のデータ中には入射角度（75度）・波長（1.5-5.0eV）・サンプルの情報（基板・膜の光学定数、SiO2膜厚）全てが含まれています。

分光測定終了後、得られたデータから各層の n,k,d を求めるには、どのようにしたら良いのでしょうか？


	測定した() , () からは、知りたいと思っている各層の膜の n,k,d を直接計算することは出来ない

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