エリプソの手引き / HORIBA JOBIN YVON（ホリバ・ジョバンイボン）

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	・	有効媒質近似(EMA)
	・	解析例

位相変調法を用いたエリプソメータとは？

エリプソメータ製品情報

JYのエリプソメータは位相変調方式を採用しています。
では、位相変調方式を用いたエリプソメータとは？

PEM(光弾性変調)

このPEM（光弾性変調器）により50kHzの周波数に位相変調された楕円偏光が作られます。そのため、数ミリ秒の分解能で

を決定することが可能になります。PEMの特性と、その高い周波数により測定時間が少なく実時間計測に向いており、またcos

に加え、sin

を検出することが出来るので、

の精度が良いという特徴を持っています。

通常のエリプソメータ

PEMを利用したエリプソメータ


	= 付近では精度が悪い例)cos1°=0.9998 cos2°=0.9993 →変化が分かりにくい


	= 付近でも精度が良い例)sin1°=0.0175 sin2°=0.0349 →変化が分かりやすい

付近となる透明材料に有効

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