エリプソの手引き / HORIBA JOBIN YVON（ホリバ・ジョバンイボン）

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エリプソメトリとは？

・

分光エリプソの必要性

	・	薄膜1層の場合 (1)
	・	薄膜1層の場合 (2)
	・	多層膜の場合

特徴と欠点

JYエリプソメータ

	・	構成
	・	測定結果
	・	測定データの解析

光学定数の設定

	・	参照試料の光学定数
	・	分散式
	・	Classical分散式

平均一・不連続な膜の解析

	・	有効媒質近似(EMA)
	・	解析例

解析困難なサンプル

エリプソメータの測定方法は？

エリプソメータ製品情報

一般的に、エリプソメータの測定方法としては主に2つの方法に分けられ、それぞれ下記のような長所・短所を持っています。

エリプソメータ測定方法

回転検光子法

位相変調法

検光子を回転させて反射光の偏光状態を観測し、とを検出

☆長所

装置の構成が簡単なので、
= 90°付近で精度が良い

★短所

測定時間が長い
= 0,180° 付近で精度が悪いため、k > 0.1 しか測れない

光弾性変調器 (PEM) の働きにより、高速でとを検出

☆長所

精度が良い
測定時間が短い
機械的な振動がない

★短所

温度変化に弱い
PEM に波長依存性があるので、キャリブレーションが必要

JY 採用

エリプソメータ製品情報

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