HORIBA JOBIN YVON

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分光エリプソメータの特徴と欠点は？
エリプソメータ製品情報
☆分光エリプソの長所
  • 測定量の増加（単一波長のように独立したパラメータを増やすのではなく、物理的に意味を持ったパラメータの増加）
  • 波長変化による、相関関係の減少
  • 測定・解析精度の向上
  • 界面やラフネスなど、複雑なサンプル構造の解析可能
★分光エリプソの欠点
  • 値段が高い
  • 解析が難しい
エリプソメータ製品情報

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