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	・	有効媒質近似(EMA)
	・	解析例

分光エリプソの必要性

なぜ単一波長エリプソではなく、
分光エリプソメータが必要なのか？


	★欠点測定精度が悪い膜厚が 100 以下の薄膜では n,d の区別が付かない。厚い膜に関しては、大体の厚さの範囲が分からなければ、膜厚の決定が出来ない

しかし


	2つの測定量から3つの未知数を求めることは出来ないよって通常の単一波長エリプソ測定では解析不可能

なぜ？


	入射角度を変化させて測定(',') 異なる波長のレーザーを用いて測定以上のように測定量を増やしても解析困難


	(,)と(',')に強い相関関係が見られるため、独立した n,k,d を計算出来ない波長を変化させても、各波長で得られる測定量がそれぞれ独立しているため、結局2つの測定量から3つの未知数は計算できない


	2つの測定量から多数の未知数を求めることは出来ないよって単一波長エリプソ測定にて解析不可


	単一波長エリプソメータではなく分光エリプソメータが必要

なぜ？


	入射角度を変化させて測定し、測定量を増やしても時間がかかる相関関係強いため、独立した n,k,d を計算出来ない

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