エリプソの手引き / HORIBA JOBIN YVON（ホリバ・ジョバンイボン）

・

	・	有効媒質近似(EMA)
	・	解析例

エリプソメータの原理とは？

エリプソメータ製品情報

どうして偏光状態が変化するの？

s偏光とp偏光で

があるため


	この変化は s 偏光とp 偏光の位相差:（デルタ） s 偏光とp 偏光の反射振幅比角:tan（プサイ）として定義され、通常は,として表される

複素反射係数比
pはエリプソメトリー角

を使って次式のように表される


	（,）は波長（）入射角度（）膜厚（ d ）物質の光学定数（複素屈折率:N または複素誘電率:E）これらのパラメータによって変化する。


	（,）が求まれば、ここから膜厚（ d ）物質の光学定数（N or E）を計算することができる。


	複素屈折率や複素誘電率からは下記の式を通して最終的に各層の膜の屈折率（ n ）や消衰係数（ k ）が求められる

On this website