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ホーム >> 製品情報 >> 製品名から探す >> 分光エリプソメータ（膜厚計） >> エリプソの手引き：エリプソメトリとは？

エリプソメトリとは？

・

分光エリプソの必要性

	・	薄膜1層の場合 (1)
	・	薄膜1層の場合 (2)
	・	多層膜の場合

特徴と欠点

JYエリプソメータ

	・	構成
	・	測定結果
	・	測定データの解析

光学定数の設定

	・	参照試料の光学定数
	・	分散式
	・	Classical分散式

平均一・不連続な膜の解析

	・	有効媒質近似(EMA)
	・	解析例

解析困難なサンプル

エリプソメトリとは？

エリプソメータ製品情報

エリプソメトリとは物質の表面で光が反射するときの偏光状態の変化（入射と反射）を観測し、そこから物質に関する情報を求める方法です。
測定にはエリプソメータを使用します。

エリプソメータ測定から物質に関するどのような情報が得られるのでしょうか？

エリプソメータ測定から何が分かるのか？

エリプソメータから何が分かるのか？

材料によって異なりますが、基本的には

の厚さまで計算することができます。

エリプソメータ製品情報

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