エリプソの手引き / HORIBA JOBIN YVON（ホリバ・ジョバンイボン）

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エリプソメトリとは？

・

分光エリプソの必要性

	・	薄膜1層の場合 (1)
	・	薄膜1層の場合 (2)
	・	多層膜の場合

特徴と欠点

JYエリプソメータ

	・	構成
	・	測定結果
	・	測定データの解析

光学定数の設定

	・	参照試料の光学定数
	・	分散式
	・	Classical分散式

平均一・不連続な膜の解析

	・	有効媒質近似(EMA)
	・	解析例

解析困難なサンプル

分光エリプソで解析困難なサンプルとは？

エリプソメータ製品情報


1.	300以上の金属膜の膜厚ほとんどの金属ではこの厚さ以上になると光が通らないため、膜厚を計算することはできません。この場合、バルクとしてN, Kのみの計算になります。

2.	膜厚8m以上の厚い膜分光器の分解能が限界になります。また、5m以上では計算された膜厚に誤差が大きくなります。

3.	材料間にN, K（光学定数）の違いがほとんど見られないサンプル基本的に材料間の光学定数に違いがほとんど見られない場合、これらの膜厚を分けることは非常に困難です。一般的に分光エリプソで膜厚を計算するには、材料間の屈折率の差が0.01以上必要です。

	（例1）	Si基板上のエピSi → 完全にSiになっていると基板との区別を付けることができません。このとき界面層などが存在していると解析可能な場合もあります。

	（例2）	石英ガラス基板上のSiO2 → 石英ガラス基板とSiO2はほとんど屈折率・吸収係数が変わらないので、SiO2の膜厚を計算することはできません。

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