エリプソの手引き / HORIBA JOBIN YVON（ホリバ・ジョバンイボン）

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エリプソメトリとは？

・

分光エリプソの必要性

	・	薄膜1層の場合 (1)
	・	薄膜1層の場合 (2)
	・	多層膜の場合

特徴と欠点

JYエリプソメータ

	・	構成
	・	測定結果
	・	測定データの解析

光学定数の設定

	・	参照試料の光学定数
	・	分散式
	・	Classical分散式

平均一・不連続な膜の解析

	・	有効媒質近似(EMA)
	・	解析例

解析困難なサンプル

有効媒質近似を用いた解析例

エリプソメータ製品情報

（例）SIMOX


3層モデル


4層モデル

1.5-3.0eV 拡大

1.5-3.0eV 拡大

X2* : 測定データとモデルの差

3層モデルに比べ、4層モデルの方が良くフィッティングされていることから、実際このSIMOXサンプルにはSi基板とSiO2の間に界面層が約500

程度存在していることが分かります。

エリプソメータ製品情報

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