有効媒質近似では、ラフネスおよび界面、あるいは膜の不均質や不連続性を実効的な均質膜に置き換えて解析します（波長オーダーより十分小さく、物理的に混合している複数の物質からなる媒質の誘電率モデルをたてます）。そして、その実効的な均質膜の光学定数を求める式が有効媒質近似論です。これにより、分光エリプソメータによってラフネス層や界面層などを評価する事が可能になります。

（例1）実際、界面・ラフネスの有無は、界面層（ラフネス）を「仮定した場合の計算値」と「仮定しないといの計算値」、どちらの方がよりフィットするかによって判断されます。