エリプソの手引き / HORIBA JOBIN YVON（ホリバ・ジョバンイボン）

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エリプソメトリとは？

・

分光エリプソの必要性

	・	薄膜1層の場合 (1)
	・	薄膜1層の場合 (2)
	・	多層膜の場合

特徴と欠点

JYエリプソメータ

	・	構成
	・	測定結果
	・	測定データの解析

光学定数の設定

	・	参照試料の光学定数
	・	分散式
	・	Classical分散式

平均一・不連続な膜の解析

	・	有効媒質近似(EMA)
	・	解析例

解析困難なサンプル

不均一・不連続な膜はどのように解析するのでしょうか？

エリプソメータ製品情報

これまで、薄膜の解析に関して、膜は均質かつ連続で、平行平面膜であると仮定してきました。しかし、実際の膜は通常、不均質・不連続であったり、膜面および界面にラフネスが存在します。ではこの場合、どのように解析したら良いのでしょうか？

解析時の仮定

膜表面は散乱がなく、平らである
全ての物質は等方性（均質）かつ連続である

実際は・・・

すべての膜は原子レベルで見ると不均質・不連続
膜面・界面にラフネスが存在


	どのように解析すればよいのか？


	有効媒質近似を使用

エリプソメータ製品情報

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