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JYでは、いろいろな分野で使用される約180種類のバルク材料の光学定数をライブラリーとして所有しています。これらの光学定数は、D.E.AspnesやG.E.Jellison Jr.等が各種プロセスにより『原子レベルで平坦な表面』を形成し、バルクの光学定数を測定した結果であり、表面ラフネスの寄与が極めて少ない、バルクの光学定数に近い結果となっています。これらの結果を参照試料の光学定数（リファレンス）としてモデルに利用し、ユーザーが作製した材料の測定・解析を行うことにより、膜厚、表面ラフネス、バルクの不均一性等の評価が可能です。

これらの場合はどのようにすれば良いのでしょうか？

近赤外から紫外領域では、誘電率 は材料の構成原子の結合様式から決定されます。
そのため、代表的な以下のような式（Classical式）に含まれるパラメータを計算すること（フィッティングさせること）で、材料の誘電率 を求めていきます。この式を用いることにより、膜厚と共に薄膜の光学定数を同時に計算することが可能です。