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エリプソの手引き
エリプソメータ製品情報
エリプソメトリとは？
エリプソメータで測定すると何が分かるのでしょうか?
エリプソメータの原理とは?
なぜ単一波長エリプソではなく、分光エリプソメータが必要なのか?
1. 薄膜1層でn,k,dのいずれかが分かって居る場合
2. 未知の薄膜1層の場合
3. 多層膜の場合
エリプソメータの特徴と欠点は?
エリプソメータの測定方法は?
位相変調法を用いたエリプソメータとは?
JYエリプソメータの構成は?
測定した結果、どのようなデータが得られるでしょうか?
測定データから、各層の未知数n,k,dを求めるには?
解析手順
モデルをたてる際の光学定数(n,k,d)の設定は?
1. 参照試料の光学定数
2. 分散式
3. Classical分散式
平均一・不連続な膜はどのように解析するのでしょうか?
有効媒質近似(EMA)とは?
有効媒質近似を用いた解析例
分光エリプソで解析困難なサンプルとは?
エリプソメータ製品情報

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