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可視分光エリプソメータ
MM-16

液晶変調方式を採用した新型分光エリプソメータ。
膜厚測定のあらゆるニーズに応えます
特長
膜厚測定が非破壊・非接触で可能
  • 非破壊・非接触にて膜厚・屈折率の測定、評価が可能。
  • 絶縁体、伝導体、半導体などの材料に最適。
  • 測定膜厚範囲：1nm〜20μm
  • 高感度CCDを用いた検出システムにより全波長域を高速に測定。
  • 新技術「液晶変調方式」によりミューラー行列の全16要素の採取が可能。
  • ミューラー行列の全16要素の採取により、次のような高度な測定への対応も可能。
    ・異方性材料
    ・偏光解消
仕様
 光源
ハロゲン＋LED
 波長範囲
430nm-850nm
 スポットサイズ
1mm X 3mm @ 70度
 検出器
高精度CCD(分解能：2nm)
 入射角度
固定タイプ、(55度-90度、5度刻みで設定可能)
 サンプルステージ
固定タイプ、150mmウェハまで対応、高さ(20mm)
および傾きを手動調整可能
 寸法および質量
センサー部：650mm X 470mm X 600mm, 25kg
制御部：520mm X 500mm X 220mm, 35kg
(モニター、キーボード、マウスは除く)
 必要ユーティリティ
電源：AC100V
オプション
 電動ゴニオメータ
入射角度の電動可変、
可変範囲：40度-90度
 電動XYステージ
ウェハ面内分布測定用、
XおよびY軸の電動可変、200mmウェハ対応、
高さ(4mm)および傾きを手動調整可能
 電動回転ステージ
回転軸の電動可変、150mmウェハまで対応、
高さ(20mm)および傾きを手動調整可能

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