HORIBA JOBIN YVON

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アプリケーションノート『分光エリプソメータによる太陽電池デバイス特性評価』を掲載しました。 (2007.6.30) New!
概要
分光エリプソメータ(膜厚計)UVISELシリーズは、光弾性変調器（PhotoElasticModulator）を用いた位相変調方式の採用により高速かつ高精度の測定を実現しています。薄膜の膜厚および、光学定数（屈折率、消衰係数）を求めることが出来ます。国内で公共研究機関をはじめ、数多くの納入実績を誇っています。

エリプソの手引き（分光エリプソメータについて詳しく解説しています。）
学会発表
2005年　応用物理学会(春)
「分光エリプソメータによるスパッタ装置を使ったSiO2薄膜と界面状態の評価」
2005年　応用物理学会(秋)
　「分光エリプソメータによる有機EL膜の解析(1)」
2005年　応用物理学会(秋)
　「分光エリプソメータによる有機EL膜の解析(2)」
カタログ 論文 アプリケーションノートと参考文献
製品目次
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可視分光エリプソメータ
MM-16
 icon
分光エリプソメータ
（薄膜計）
UVISEL
 icon
全自動超薄膜
計測システム
UT-300
 icon
全自動薄膜
計測システム
(膜厚計)
FF-1000
推奨測定範囲（膜厚スケール）
膜厚計ラインナップ

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