分光エリプソメータ（膜厚計） / HORIBA JOBIN YVON（ホリバ・ジョバンイボン）

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分光エリプソメータ（膜厚計）

	新製品『自動薄膜計測装置 Auto SE』を掲載しました。 (2008.8.18)

	アプリケーションノート『分光エリプソメータによるパッケージアプリケーションの評価例』を掲載しました。 (2008.7.9)

	アプリケーションノート『液体フローセル中のバイオチップ構造の分光エリプソメトリック測定』『分光エリプソメータによるバイオマテリアルの評価例』を掲載しました。 (2008.7.9)

	アプリケーションノート『分光エリプソメータによるポリマー材料の評価例』を掲載しました。 (2008.7.9)

	アプリケーションノート『分光エリプソメータによる薄膜太陽電池の評価・実例』を掲載しました。 (2008.7.4)

分光エリプソメータ(膜厚計)UVISELシリーズは、光弾性変調器（PhotoElasticModulator）を用いた位相変調方式の採用により高速かつ高精度の測定を実現しています。薄膜の膜厚および、光学定数（屈折率、消衰係数）を求めることが出来ます。国内で公共研究機関をはじめ、数多くの納入実績を誇っています。

エリプソの手引き（分光エリプソメータについて詳しく解説しています。）

2005年　応用物理学会(春)

「分光エリプソメータによるスパッタ装置を使ったSiO2薄膜と界面状態の評価」

2005年　応用物理学会(秋)
　「分光エリプソメータによる有機EL膜の解析(1)」

2005年　応用物理学会(秋)
　「分光エリプソメータによる有機EL膜の解析(2)」



自動薄膜計測装置 Auto SE	可視分光エリプソメータ MM-16	分光エリプソメータ（薄膜計） UVISEL	全自動超薄膜計測システム UT-300



全自動薄膜計測システム (膜厚計) FF-1000

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