グレーティング

  モノクロメータ/検出器

  ICP発光分析装置

  マーカス型高周波
  グロー放電発光表面分析装置

  蛍光分光測定装置

  蛍光寿命測定装置

  分光エリプソメータ（膜厚計）

  半導体・液晶プロセスモニタ

  カソードルミネッセンス測定システム

  フォトルミネッセンス測定装置

  ラマン分光測定装置

  鑑識関連装置

最新のエッチング／成膜プロセスにおいて歩留まりを向上させるためには、膜厚、トレンチ深さまたはプラズマをリアルタイムでモニタリングし、エッチング／成膜プロセスを管理・制御することが必要です。
DIGIFAMILYでは光学先進国フランスのジョバンイボン社の高度な測定技術を駆使し、最先端の微細かつ複雑な薄膜プロセス制御を可能にしました。

• プラズマプロセス分析装置
• エッチング・成膜プロセスモニタに最適