HORIBA JOBIN YVON

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MP-VSシリーズ
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化合物半導体評価装置サイト
カソードルミネッセンス　スペクトル測定システム
MP-VSシリーズ
概要
SEMに取付るだけ
カソードルミネッセンススペクトルを簡単測定。
特長
  • CL集光ユニットはCLミラーが取付けポートまで退避する様に
    リクトラクタブル機構を採用。
  • 分光部はコンパクトなポリクロメータと光ファイバーを採用して
    いるので設置場所を問いません。
  • 適応例 　
    • 蛍光物質の発光特性評価 　
    • 鉱物のスペクトル評価など
アプリケーションノート
カソードルミネッセンスによる白色LEDの蛍光体の評価 New!
カソードルミネッセンスによる青色LEDの評価 New!
カソードルミネッセンスによるGaNウェハー/エピウェハーの欠陥評価 New!
価格
¥22,050,000〜

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