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カソードルミネッセンス測定システム
>> カソードルミネッセンス 高機能 / MP-32S/M
概要
仕様
ナノ応力顕微鏡の開発
カソードルミネッセンス 高機能
MP-32S/M
カソードルミネッセンスMP-32S/Mは、サーマルタイプのフィールドエミッションSEMを使用し、今まで不可能だった微少領域における高空間分解能での評価を実現、サブミクロンの壁を突破しました。
空間分解能 50um
グレーティング3枚内蔵モノクロメータ使用
微弱光測定に有利なフォトンカウンティング測光
モノクロメータの全ての機能をコンピュータ制御
Windows XP対応ソフトウェア
カソードルミネッセンスによる白色LEDの蛍光体の評価
カソードルミネッセンスによる青色LEDの評価
カソードルミネッセンスによるGaNウェハー/エピウェハーの欠陥評価
¥22,050,000〜
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