グレーティング

  モノクロメータ/検出器

  ICP発光分析装置

  マーカス型高周波
  グロー放電発光表面分析装置

  蛍光分光測定装置

  蛍光寿命測定装置

  分光エリプソメータ（膜厚計）

  半導体・液晶プロセスモニタ

  カソードルミネッセンス
  測定システム

  フォトルミネッセンス測定装置

  ラマン分光測定装置

  鑑識関連装置

電子ビームの照射により試料から発生するカソードルミネッセンスを利用し、微小領域での物性評価、表面下にある構造の観察・評価、ワイドギャップ材料等の評価、欠陥・不純物の評価など、様々な評価が行われています。
また、フィールドエミション電子顕微鏡と組み合わせることにより、ナノオーダの微小領域の評価が可能になり、さらなるナノテクノロジを切り拓こうとしています。

• 半導体等の不純物・欠陥評価
• 応力分布評価
• 酸化膜の欠陥構造分布評価
• 発光素子の評価
• 電子デバイスの基盤材料の評価
• デバイスの特性解析
• 三次元的量子構造の評価