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LED、レーザーダイオード、高速デバイスと急拡大する化合物半導体市場。
その化合物半導体のエピ膜評価として、以下の各種手法があげられますが、堀場製作所では光学的手法を中心とした製品を提供させていただいております。研究開発から生産管理まで、ラインアップを揃えておりますので、お気軽にお問い合わせください。
アプリケーションノートはこちら
1. 構造関連
膜厚:SEM、TEM、
分光エリプソメータ (膜厚計)
結晶性:TEM、XRD、
ラマン分光測定装置
(PL測定可能)
断面観察:SEM、TEM
表面観察:AFM
2. 光学的評価
フォトルミネッセンス (PL)
(ラマン測定可能)
カソードルミネッセンス (CL)
光吸収:各種分光器/検出器
分光エリプソメータ(膜厚計)
3. 電気的評価
ホール測定
4. その他
半導体・液晶プロセスモニター
in-situ FTIR
光干渉式エッチングモニタ
顕微鏡用クライオスタット
マーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置
アプリケーションノート一覧
分光エリプソメータ(膜厚計)
半導体 IV-IV
化合物半導体 II-VI
化合物半導体 III-V
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