HORIBA JOBIN YVON

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生産支援機器 膜厚測定 深さ分析 光学的評価 その他
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光学的評価
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その他
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関連製品
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時間分解PL測定装置
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各種分光器
生産支援機器
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エッチング・モニタ
グリーン調達関連製品(ELV指令・WEEE/RoHS指令)
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化合物半導体概要
LED、レーザーダイオード、高速デバイスと急拡大する化合物半導体市場。
その化合物半導体のエピ膜評価として、以下の各種手法があげられますが、堀場製作所では光学的手法を中心とした製品を提供させていただいております。研究開発から生産管理まで、ラインアップを揃えておりますので、お気軽にお問い合わせください。
化合物半導体エピ膜の各種評価方法
アプリケーションノートはこちら
 1. 構造関連
 断面観察:SEM、TEM
 表面観察:AFM

 2. 光学的評価

 3. 電気的評価
 ホール測定

 4. その他
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 分光エリプソメータ(膜厚計)
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